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微機械陀螺儀的封裝研究提綱
論文摘要: 微機械陀螺儀的封裝問題是關系其實用化的主要因素之一.通過調研及分析國內外微機械陀螺及其封裝的發展現狀,本論文對北京（略）軸微機械音叉陀螺進行器件級真空封裝研究以及對該陀螺做性能測試分析. 論文分析了微機械陀螺的結構和工作原理,同時討論了真空封裝能提高微機械陀螺靈敏（略）誤差的相關理論,通過理論研究和實驗分析相結合,采用了真空冷壓焊技術,確定了真空封裝微機械陀螺的驅動端品質因數Q與封裝腔內的氣壓近似反比關系,提供（略）EMS微小封裝內真空度的方法. 考慮到封裝應力對器件性能的影響,本文從粘接膠、基底材料與器件的楊氏模量、熱膨脹系數等方面對陀螺的諧振頻率的影響做仿真分析和試驗,得到采用膠1和陶瓷基底的封裝形式使得封裝應力最小.同時,對器件的封裝熱應力分析,得到分散空氣泡對器件的（略）提出一種產生分散空氣泡的貼片方法.此外,對封裝好的微機械陀螺做了性能測試,得到封裝腔內氣壓為600Pa,驅動諧振頻率為9065.32Hz,Q值為432.27,標度因數為2.61mv/deg/s,非線性為0.424%,不對稱度為0.545%,零偏值為13.04deg/s.
The encapsulation of micro-machined gyroscopes is（omitted）e main factors which are related to their applications. Thro（omitted）search and analysis of the development status of micro-mechanical gyroscopes and encapsulation at home and abroad, we（omitted）e research on the vacuum encapsulation of Z-axis micro-mechanical tuning fork gyroscope, which is designed by （omitted）versity, and the test and analysis of its performance. （omitted）esis, there is an analysis of the structure and working principle of ...
目錄:
摘要 第4-5頁
Abstract 第5頁
第1章 緒論 第8-16頁
·研究目的與意義 第8-9頁
·國內外發展現狀 第9-14頁
·微機械陀螺發展 第9-13頁
·微機械陀螺封裝 第13-14頁
·研究內容與方案 第14-15頁
·本章小節 第15-16頁
第2章 微機械陀螺的動特性分析 第16-33頁
·微機械陀螺的結構 第16-20頁
·滑膜驅動機理 第18-19頁
·壓膜檢測機理 第19-20頁
·微機械陀螺對軸向加速度的響應 第20-21頁
·微機械陀螺品質因子Q 第21-23頁
·微機械陀螺的阻尼分析 第23-30頁
·結構阻尼 第23-27頁
·空氣阻尼 第27-30頁
·微機械陀螺儀的誤差分析 第30-32頁
·正交耦合誤差 第30-31頁
·阻尼不對稱 第31-32頁
本章小結 第32-33頁
第3章 微機械陀螺的器件級封裝 第33-50頁
·真空封裝 第33-37頁
·真空冷壓焊封裝 第34頁
·真空度及其檢測 第34-37頁
·封裝的影響 第37-38頁
·封裝對諧振頻率影響的仿真分析 第38-43頁
·微機械陀螺的器件級封裝 第43-47頁
·貼片工藝 第43-46頁
·鍵合工藝 第46-47頁
·微機械陀螺封裝影響實驗 第47-49頁
本章小結 第49-50頁
第4章 器件級真空封裝微機械陀螺測試 第50-67頁
·微機械陀螺主要測試指標及測試器件概述 第50-52頁
·微機械陀螺主要性能指標概述 第50頁
·微機械陀螺主要測試器件概述 第50-52頁
·微機械陀螺接口檢測電路與系統級Matlab 仿真 第52-57頁
·閉環驅動電路原理 第52-54頁
·角速率檢測電路原理 第54-55頁
·微機械陀螺的系統級 Matlab 仿真 第55-57頁
·器件級真空封裝微機械陀螺的性能測試與分析 第57-66頁
·掃頻測試 第58-63頁
·Matlab 軟件的掃頻測試仿真 第58-59頁
·真空器件級封裝微機械陀螺的掃頻測試與分析 第59-63頁
·標度因數測試 第63-65頁
·零偏及加速度敏感性測試 第65-66頁
本章小結 第66-67頁
第5章 總結與展望 第67-69頁
·總結 第67-68頁
·展望 第68-69頁
附錄 第69-72頁
參考文獻 第72-78頁
攻讀碩士學位期間發表的學術論文及取得的成果 第78-79頁
致謝 第79頁
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