介觀壓阻效應及器件研究

介觀壓阻效應及器件研究

全部作者： 張文棟 熊繼軍 薛晨陽 張斌珍 仝召民 第1作者單位： 中北大學信息與通信工程學院 論文摘要： 介紹了GaAs/AlAs/InGaAs雙勢壘超晶格薄膜結構的介觀壓阻效應以及幾種基于此效應的新型傳感器件。闡述了介觀壓阻效應的4個過程，結合空氣橋結構和歐姆接觸技術，在[001]晶向半絕緣GaAs襯底上加工出來了GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿結構（RTS），并對其進行了加壓試驗研究，發現其介觀壓阻靈敏度達到2.54×10-9 Pa-1，是硅壓阻靈敏度的1個數量級以上。采用控制孔技術成功加工出了基于RTS的圓膜壓力、4梁加速度和仿生矢量水聲3種新型納機電器件，并分別對其進行了壓力罐、振動臺和水下駐波測試。結果表明圓膜壓力傳感器具有較好的力電耦合特性；4梁加速度計的壓阻靈敏度隨RTS兩端偏置電壓可調，并在微分負阻（NDR）區具有最大壓阻靈敏度；矢量水聽器具有良好的“8”字余弦指向性，靈敏度在1000Hz時達到-184.6dB，可以實現水平面內的水下聲信號探測。 關鍵詞： 介觀壓阻效應，共振隧穿結構，納機電 (瀏覽全文) 發表日期： 2007年12月14日 同行評議：

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